凈化車間的優(yōu)勢。1、多功能性凈化車間是一個多功能綜合整體，體現在以下兩個方面：（1）專業(yè)性高：專業(yè)的凈化設施，包括凈化空調等，可以達到凈化水氣體的作用。（2）多參數：空氣潔凈度、細菌濃度、風量、壓力、噪音和照明燈都可以在車間內展示出來。2、良好的潔凈性能不吸塵，適用于光電凈化車間墻體，節(jié)約能源，保護環(huán)境。3、質量好設計、施工和運營管理對凈化車間的質量非常重要，占據了位。凈化車間的設計到管理的整個過程，都是一體化進行的，從而保證了凈化的質量。4、施工方便10-14 kg / m2，相當于磚墻的1/30，通常使用50mm厚的膠合板來搭建車間的隔墻和屋頂。
無塵車間生產對于濕度控制是非常重要的條件之一，無塵車間、潔凈室運作過程中一個常用的環(huán)境控制條件是相對濕度。半導體無塵車間、潔凈室中的典型的相對濕度的目標值大約控制在30至50%的范圍內，允許誤差在±1%的狹窄的范圍內，例如光刻區(qū)或者在遠紫外線處理(DUV)區(qū)甚至更小而在其他地方則可以放松到±5%的范圍內。
無塵車間在設計時一定要符合生產工藝過程的要求。不管是上工序還是下工序，兩者間的運輸距離要短，盡量避免迂回和往返運輸。車間的地面要用堅固、防滑、易清潔、不滲水、耐腐蝕的材料鋪制；墻面則要鋪有2米以上的墻裙，墻面用耐腐蝕、易清洗消毒、堅固、不滲水的材料鋪制及用淺色，防水、無毒、不易脫落、防霉、可清洗的材料覆涂。
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